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电科武器装备将看准高档

2021-04-04 14:54:25 来源:
  中国新闻网北京市3月17日电(新闻记者孙自法)新闻记者17日从我国自动化科技集团公司有限责任公司(中国电科)获知,该集团公司集团旗下电科武器装备已取得成功完成离子注入机全谱系商品国内生产制造的,能为全世界芯片制造公司出示离子注入机一站式解决方法。
  
  中国电科集团旗下电科武器装备研制的离子注入机。中国电科供图
 
  
  中国电科详细介绍说,离子注入机是芯片制造中的重要武器装备。电科武器装备持续提升大流强寿命长高质量离子源、髙速圆晶传送等“受制于人”核心技术,独立研发出中束流、大束流、较高能、特殊运用及第三代半导体材料等离子注入机,加工工艺段遮盖至28纳米技术,已总计产生关键专利发明413项,完成我国芯片制造行业全谱系离子注入机科技创新发展趋势,将合理减轻我国芯片制造行业断线、挎包难点。
  
  中国电科集团旗下电科武器装备科研人员对研制的离子注入机开展有关检测。中国电科供图
  
  中国电科表明,下一步,电科武器装备将看准高档,紧随先进工艺发展趋势,积极推进适用更先进工艺连接点离子注入机的产品研发及产业发展。
  
  据统计,中国电科是中国军工电子器件中坚力量、网信办工作“中国国家队”、战略高新科技能量,有着电子信息技术行业相对性完善的自主创新管理体系。现阶段,中国电科集团旗下包含47家国家级别科研院所、11家上市企业以内的机关事业单位500多家,职工20余万名,并有着35个国家级别重点实验室、研究所和创新中心。